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通過將線圈靠近測量區(qū)域并測量微小的感應(yīng)電動勢，可以測量厚度。它可以測量卡尺等無法測量的薄膜和涂層的厚度。還有其他類型的膜厚計(jì)，例如渦流式、超聲波式和反射光譜式，使用合適的膜厚計(jì)很重要取決于要測量的物體。

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雖然電磁式薄膜測厚儀可以即時(shí)、準(zhǔn)確地測量厚度，但其缺點(diǎn)是如果薄膜具有磁性，則無法正確測量。